[µ¥ÀÌÅͳÝ] ¹ÝµµÃ¼, µð½ºÇ÷¹ÀÌ Á¤¹Ð ºÎÇ° Á¦Á¶¾÷ü Æ÷ÀÎÆ®¿£Áö´Ï¾î¸µ(´ëÇ¥ ¾È¹ü¸ð)Àº ±¹³»¿Ü ¹ÝµµÃ¼ °í°´¿¡°Ô °ø±ÞÇÏ´Â ÇÙ½É ºÎÇ°ÀÇ ¾ç»êüÁ¦¿¡ º»°Ý µ¹ÀÔÇÑ´Ù°í ¹àÇû´Ù.
¾ç»ê üÁ¦¿¡ º»°Ý µ¹ÀÔÇÑ Á¦Ç°Àº ¹ÝµµÃ¼ ¹Ú¸·(ÁõÂø/CVD) °øÁ¤¿¡ µé¾î°¡´Â ¼Ò¸ð¼º ºÎÇ°ÀÎ ÆäÀ̽º ÇÁ·¹ÀÌÆ®1(Face Plate1)À¸·Î Æ÷ÀÎÆ®¿£Áö´Ï¾î¸µÀÌ ÀÚü º¸À¯ÇÑ À庮Çü»êÈÇǸ·Çü¼º±â¼úÀ̶ó´Â Ư¼öÇ¥¸é󸮱â¼úÀÌ Àû¿ëµÆ´Ù.
Æ÷ÀÎÆ®¿£Áö´Ï¾î¸µÀÇ ±â¼úÀÌ Àû¿ëµÈ ÀÌ Á¦Ç°Àº 10³ª³ë ÀÌÇÏÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ¹Ì¼¼È °øÁ¤¿¡¼ ¹Ì¼¼ ÆÄƼŬ ¹× ¸ÞÅ»¿À¿°ÀÇ Á¦¾î°¡ °¡´ÉÇØ ¼öÀ²Çâ»ó ¹× ºÎÇ°¼ö¸íÀ» Áõ°¡½ÃÄÑ »ý»ê¼º Çâ»ó ¹× ¿ø°¡ Àý°¨¿¡ Áß¿äÇÑ ¿ªÇÒÀ» ÇÑ´Ù.
ÃÖ±Ù ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ÀÌ ¹Ì¼¼ÈµÇ¸é¼ ¹Ú¸·°øÁ¤¿¡¼ ÆÄƼŬÀÌ ¹ß»ýÇØ Á¦Ç° ºÒ·®ÀÌ Áõ°¡ÇÏ°í ºÎÇ° ¼ö¸íÀÌ ÁÙ¾îµé¸ç À̸¦ °³¼±ÇÏ·Á´Â ¼ö¿ä°¡ ºü¸£°Ô Áõ°¡, ´çÃÊ È¸»çÀÇ ¿¹»óº¸´Ù ºü¸£°Ô ¾ç»êüÁ¦¿¡ µ¹ÀÔÇÑ °ÍÀ¸·Î º¸ÀδÙ.
Æ÷ÀÎÆ®¿£Áö´Ï¾î¸µ °ü°èÀÚ´Â “2015³âºÎÅÍ ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀå ¹®À» µÎµå¸®¸ç 200¾ï ÀÌ»ó ÅõÀÚÇØ ¶óÀÎÀ» ±¸ÃàÇÏ°í ¹ÝµµÃ¼ ¹Ì¼¼È °øÁ¤¿¡ µû¸¥ Çõ½Å ±â¼ú °³¹ßÀ» Áö¼ÓÇØ¿Â °á°ú”¶ó¸ç “2011³â ¾îÇöóÀ̵å¸ÓƼ¸®¾óÁî¿Í µð½ºÇ÷¹ÀÌ ºÎ¹®¿¡¼ °Å·¡¸¦ ½ÃÀÛÇÏ¸ç °í¼ºÀåÇÑ ÀÌ·ÂÀÌ ÀÖ´Â ¸¸Å ¹ÝµµÃ¼ ºÎ¹®µµ º»°ÝÀûÀ¸·Î °Å·¡°¡ Áö¼ÓµÇ¸é ¶Ç Çѹø °¡Æĸ£°Ô ¼ºÀåÇÒ °ÍÀ¸·Î ±â´ëÇÑ´Ù”°í ¹àÇû´Ù.
ÇÑÆí ¿£¿¡ÀÌÄ¡½ºÆÑ10È£(´ëÇ¥ ÀÌ°¼ö)¿Í ÇÕº´»óÀåÀ» ÁøÇàÁßÀÎ Æ÷ÀÎÆ®¿£Áö´Ï¾î¸µÀº ¿À´Â 5¿ù 28ÀÏ ÇÕº´½ÂÀÎÀ» À§ÇÑ ÁÖÁÖÃÑȸ°¡ ÁøÇàµÈ´Ù. ÀÌÈÄ 7¿ù 1ÀÏ ÇÕº´ ±âÀÏÀ» °ÅÃÄ 16ÀÏ ½ÅÁÖ »óÀåµÉ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. ÇÕº´ºñÀ²Àº 1:7.5ÀÌ´Ù. |