[µ¥ÀÌÅͳÝ] Àç·á°øÇÐ ¼Ö·ç¼Ç ±Û·Î¹ú ¼±µµ±â¾÷ ¾îÇöóÀ̵å¸ÓƼ¾î¸®¾óÁî(Çѱ¹´ëÇ¥ ÀÌ»ó¿ø)´Â »ç¹°ÀÎÅͳÝ(IoT), Ŭ¶ó¿ìµå ÄÄÇ»Æà µî¿¡ »ç¿ëµÇ´Â Â÷¼¼´ë ¸Þ¸ð¸® ¾ç»êÀ» À§ÇÑ Çõ½ÅÀûÀÎ ´ë·® »ý»ê ¼Ö·ç¼ÇÀ» °ø°³Çß´Ù.
DRAM, SRAM, NAND Ç÷¡½Ã µîÀÇ ¸Þ¸ð¸® ±â¼úÀº ¼ö½Ê ³â Àü °³¹ßµÅ ÇöÀç µðÁöÅÐ ±â±â¿Í ½Ã½ºÅÛ¿¡ ³Î¸® »ç¿ëµÇ°í ÀÖ´Ù. ±×·¯³ª MRAM(Magnetic RAM), PCRAM(Phase Change RAM), ReRAM(Resistive RAM)°ú °°Àº Â÷¼¼´ë ¸Þ¸ð¸®´Â ±âÁ¸ ¸Þ¸ð¸®¿¡ ºñÇØ Â÷º°ÈµÈ ÀåÁ¡À» °¡Áö°í ÀÖÁö¸¸ ´ë·®»ý»êÀÌ ¾î·Á¿î ½Å¼ÒÀç¿¡ ±â¹ÝÀ» µÖ »ó¿ëÈ¿¡ ¾î·Á¿òÀ» °Þ°í ÀÖ´Ù.
ÀÌ¿¡ ¾îÇöóÀ̵å¸ÓƼ¾î¸®¾óÁî´Â Â÷¼¼´ë ¸Þ¸ð¸®¿¡ »ç¿ëµÇ´Â ÇÙ½É ¹°ÁúÀÎ »õ·Î¿î ±Ý¼Ó ¹°ÁúµéÀ» ¿øÀÚÃþ ´ÜÀ§ÀÇ Á¤¹Ðµµ·Î ÁõÂøÇÒ ¼ö ÀÖ´Â »õ·Î¿î ´ë·® »ý»ê ½Ã½ºÅÛÀ» Ãâ½ÃÇß´Ù.
IoT¿¡ ÀûÇÕÇÑ MRAM »ý»êÀ» Áö¿øÇÏ´Â ‘¿£µà¶ó Ŭ·Î¹ö(Endura Clover) MRAM PVD’ Ç÷§ÆûÀº °íûÁ¤∙°íÁø°ø »óŸ¦ À¯ÁöÇÑ »óÅ·ΠÁ¶ÇÕµÈ ÃÖ´ë 9°³ÀÇ µ¶Æ¯ÇÑ ¿þÀÌÆÛ °øÁ¤ è¹öµé·Î ±¸¼ºµÈ´Ù. ÀÌ Ç÷§ÆûÀº °¢°¢ÀÇ Ã¨¹ö´ç ÃÖ´ë 5°³ °³º° ¹°Áú ¹Ú¸·À» ÁõÂøÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¾÷°è ÃÖÃÊÀÇ ´ë·® »ý»ê¿ë 300mm MRAM ½Ã½ºÅÛÀÌ´Ù.
|
|
|
¡ã ¿£µà¶ó Ŭ·Î¹ö MRAM PVD Ç÷§Æû |
MRAMÀº Áø°øÀ» À¯ÁöÇÑ »óÅ·ΠÃÖ¼Ò 30Ãþ ÀÌ»óÀÇ Á¤¹ÐÇÑ ¹Ú¸·ÀÇ ¿¬¼Ó ÁõÂøÀÌ ¿ä±¸µÈ´Ù. ±× Áß ÀϺδ »ç¶÷ÀÇ ¸Ó¸®Ä«¶ôº¸´Ù 50¸¸¹è ¾ãÀº °Íµµ ÀÖ´Ù. ¶ÇÇÑ ¿øÀÚ Áö¸§ Á¤µµÀÇ ÀÛÀº µÎ²² º¯È°¡ Àüü ¸Þ¸ð¸® ¼ÒÀÚÀÇ ¼º´É°ú ½Å·Úµµ¿¡ Áß´ëÇÑ ¿µÇâÀ» ¹ÌÄ¥ ¼ö ÀÖ´Ù.
¿£µà¶ó Ŭ·Î¹ö MRAM PVD Ç÷§ÆûÀº ÁõÂøÇÑ ¹Ú¸·µéÀÇ µÎ²²¸¦ ¿ÜºÎ ´ë±â¿¡ ³ëÃâµÉ À§Çè ¾øÀÌ 1¿Ë½ºÆ®·Ò(1Å=0.1nm) ÀÌÇÏÀÇ Á¤¹Ðµµ·Î ÃøÁ¤ ¹× ¸ð´ÏÅ͸µÇØ ¿øÀÚ ¼öÁØÀÇ ¹Ú¸· ±ÕÀϵµ¸¦ º¸ÀåÇÏ´Â ³»ÀåÇü °èÃø±â¸¦ žÀçÇÏ°í ÀÖ´Ù.
PCRAM°ú ReRAMÀ» À§ÇÑ ‘¿£µà¶ó ÀÓÆÞ½º(Endura Impulse) PVD’ Ç÷§ÆûÀº Â÷¼¼´ë ¸Þ¸ð¸®¿¡ »ç¿ëµÇ´Â ´Ù¼ººÐ°è ¼ÒÀçÀÇ Á¤¹ÐÇÑ ÁõÂø°ú ÅëÁ¦°¡ °¡´ÉÇÏ°Ô ÇØÁÖ´Â ³»ÀåÇü °èÃø±â(OBM: On-Board Metrology)¿Í ÇÔ²² ÃÖ´ë 9°³ ¿þÀÌÆÛ °øÁ¤ è¹öµé·Î ±¸¼ºµÈ´Ù.
PCRAM°ú ReRAMÀº ¼¹ö¿ë DRAM°ú ÀúÀåÀåÄ¡ »çÀÌÀÇ °¡¼ººñ Ãø¸é¿¡¼ ±× °ÝÂ÷¸¦ ä¿öÁÙ ¼ö ÀÖ´Â ÀÏ¸í ’½ºÅ丮Áö±Þ ¸Þ¸ð¸®(Storage Class Memory)’·Î »ç¿ëµÉ ¼ö ÀÖ´Ù. Áï °í¼Ó, ºñÈֹ߼º, ÀúÀü·Â, °í¹ÐµµÀÇ ¸Þ¸ð¸®´Ù.
|
|
|
¡ã ¿£µà¶ó ÀÓÆÞ½º PVD Ç÷§Æû |
ÇÁ¶óºÎ ¶óÀÚ(Prabu Raja) ¾îÇöóÀ̵å¸ÓƼ¾î¸®¾óÁî ¹ÝµµÃ¼ Á¦Ç° ±×·ì ºÎ»çÀåÀº “»õ·Î Ãâ½ÃÇÑ ¿£µà¶ó Ŭ·Î¹ö MRAM PVD Ç÷§ÆûÀº ¾îÇöóÀ̵å¸ÓƼ¾î¸®¾óÁî°¡ Áö±Ý±îÁö °³¹ßÇÑ ¹ÝµµÃ¼Ä¨ »ý»ê¿ë ½Ã½ºÅÛ °¡¿îµ¥ °¡Àå Á¤±³ÇÑ ½Ã½ºÅÛÀÌ´Ù”°í °Á¶Çß´Ù.
ÀÌ¾î ±×´Â “º¸À¯ÇÏ°í ÀÖ´Â ±¤¹üÀ§ÇÑ Æ÷Æ®Æú¸®¿À´Â ³»ÀåÇü °èÃø±â¿Í ÇÔ²² ´Ù¾çÇÑ ½Å¼ÒÀç°øÇÐ ±â¼úÀ» ÅëÇÕÇØ Áö±Ý±îÁö Çö½Ç¿¡¼ ±¸ÇöÇÒ ¼ö ¾ø¾ú´ø »õ·Î¿î ¹Ú¸·°ú ±¸Á¶¸¦ ¸¸µé ¼ö ÀÖ°Ô Çß´Ù”¸ç “ÀÌ´Â ÄÄÇ»Æà »ê¾÷¿¡¼ ¿ä±¸ÇÏ´Â ¼º´É Çâ»ó°ú ÇÔ²² ¼Ò¸ðÀü·Â ºñ¿ëÀÇ °¨¼Ò¸¦ µ¿½Ã¿¡ ÃæÁ·½Ãų ¼ö ÀÖ´Â ¿ÏÀüÈ÷ »õ·Î¿î ¹æ¹ýÀÌ µÉ ¼ö ÀÖ´Ù”°í ¹àÇû´Ù.
Áø¼º°ï SKÇÏÀ̴нº ÷´Ü ¹Ú¸· ±â¼ú ´ã´çÀº “SKÇÏÀ̴нº´Â ±âÁ¸ DRAM, NAND Ç÷¡½Ã °ü·Ã ±â¼úÀ» Áö¼ÓÀûÀ¸·Î Çõ½ÅÇÏ´Â ÇÑÆí µ¥ÀÌÅͼ¾ÅÍÀÇ ¼º´ÉÀ» ´ëÆø Çâ»ó½ÃÅ°°í µ¿½Ã¿¡ ¼ÒºñÀü·ÂÀ» ³·Ãߴµ¥ µµ¿òÀ» ÁÙ ¼ö ÀÖ´Â Â÷¼¼´ë ¸Þ¸ð¸® °³¹ßÀ» ÁÖµµÇÏ°í ÀÖ´Ù”¸ç “À¯¸Á Â÷¼¼´ë ¸Þ¸ð¸®¸¦ À§ÇØ SKÇÏÀ̴нº¿Í Çù¾÷ÇÏ¸ç ½Å¼ÒÀç ¹× ´ë·® »ý»ê ±â¼ú °³¹ß ¼Óµµ¸¦ ³ôÀÌ°í ÀÖ´Â ¾îÇöóÀ̵å¸ÓƼ¾î¸®¾óÁî ¼º°ú¸¦ ³ôÀÌ Æò°¡ÇÑ´Ù”°í ÀüÇß´Ù.
IoT À§ÇÑ MRAM … Ŭ¶ó¿ìµå¿¡ È°¿ëµÇ´Â ReRAM∙PCRAM
MRAMÀº IoT ±â±âÀÇ ¼ÒÇÁÆ®¿þ¾î, ÀΰøÁö´É(AI) ¾Ë°í¸®ÁòÀ» ÀúÀåÇÏ´Â ¿ëµµ¿¡ °¡Àå ÀûÇÕÇÑ ¸Þ¸ð¸® Èĺ¸ Áß Çϳª´Ù.
MRAMÀº ÀϹÝÀûÀ¸·Î Çϵåµð½ºÅ© µå¶óÀ̺꿡¼ »ç¿ëµÇ´Â °í°¨µµ ÀÚ¼º ¼ÒÀçµéÀ» Æ÷ÇÔÇÏ°í ÀÖ´Ù. MRAMÀº º»ÁúÀûÀ¸·Î ºñÈֹ߼º°ú ºü¸¥ ¼Óµµ¶ó´Â Ư¼ºÀ» Áö´Ñ´Ù. µû¶ó¼ Àü¿øÀÌ Á¦°ÅµÆÀ» ¶§¿¡µµ ¼ÒÇÁÆ®¿þ¾î¿Í µ¥ÀÌÅ͸¦ À¯ÁöÇÒ ¼ö ÀÖ°í, ºü¸¥ ¼Óµµ¿Í ³ôÀº ¹Ýº¹ ±â·Ï Ƚ¼ö·Î Áö±Ý±îÁö ·¹º§3 ij½Ã¿¡ »ç¿ëµÇ´Â SRAMÀ» ´ëüÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
MRAMÀº IoT ĨÀÇ BEOL(Back-End-Of-Line) Ãþ »çÀÌ¿¡ À§Ä¡ÇÒ ¼ö ÀÖ¾î MRAMÀ» À§ÇÑ Ãß°¡ÀûÀÎ ´ÙÀÌ(Die) ¸éÀûÀ» ÃÖ¼ÒÈÇÒ ¼ö Àֱ⠶§¹®¿¡ ´ÙÀÌ ¼ÒÇüÈ¿Í ºñ¿ë Àý°¨µµ °¡´ÉÇÏ´Ù.
ReRAMÀº Ç»Áî(fuse)¿Í À¯»çÇÑ ±â´ÉÀ» ÇÏ´Â ½Å¼ÒÀ縦 »ç¿ëÇÑ´Ù. ¼ö½Ê¾ï °³ ½ºÅ丮Áö ¼¿ Áß¿¡¼ ¿øÇÏ´Â °¢°¢ÀÇ ¼¿¿¡ ¼±ÅÃÀûÀ¸·Î Çʶó¸àÆ®¸¦ Çü¼º½ÃÅ°°í ±×·Î ÀÎÇÑ Àü±â ÀüµµµµÀÇ Â÷À̸¦ ¹ß»ý½ÃÄÑ µ¥ÀÌÅ͸¦ ÀúÀåÇÑ´Ù.
PCRAMÀº DVD µð½ºÅ©¿¡ ÀÌ¹Ì »ç¿ëµÇ´Â »óº¯È ¼ÒÀ縦 ÀÌ¿ëÇÑ´Ù. PCRAMÀº ÀÌ ¼ÒÀ縦 ºñ°áÁ¤Áú(amorphous)°ú °áÁ¤Áú(crystalline) µîÀ¸·Î °¡¿ªÀûÀ¸·Î »óº¯È½ÃÅ°°í ±×·Î ÀÎÇØ ¹ß»ýµÈ »óº¯È ¼ÒÀçÀÇ ÀúÇ× Â÷À̸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿© Á¤º¸¸¦ ÀúÀåÇÑ´Ù.
ReRAM°ú PCRAMÀº 3D NAND Ç÷¡½Ã¿Í À¯»çÇÏ°Ô 3D ±¸Á¶·Î ¹è¿ÇÒ ¼ö ÀÖ¾î ¸Þ¸ð¸® Á¦Á¶»ç´Â °¢ Á¦Ç°ÀÇ ¼¼´ëº°·Î ¸Þ¸ð¸® ·¹À̾ °è¼Ó Ãß°¡ÇÏ´Â ¹æ½ÄÀ¸·Î ¸Þ¸ð¸® ¿ë·®À» Áö¼ÓÀûÀ¸·Î Áõ°¡½ÃÅ°°í Á¦Á¶ ºñ¿ëÀ» Àý°¨ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ¶ÇÇÑ ReRAM°ú PCRAMµµ °¢°¢ ÇÑ ¼¿ ¾È¿¡¼ Àü±â Àüµµµµ¿Í ÀúÇ×À» ¿©·¯ ´Ü°è·Î º¯È½Ãų ¼ö ÀÖ¾î NAND Ç÷¡½Ãó·³ °¢ ¸Þ¸ð¸® ¼¿¿¡ ¿©·¯ ºñÆ®ÀÇ µ¥ÀÌÅ͸¦ ÀúÀåÇÏ°Ô ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
ReRAM°ú PCRAM¸ðµÎ NAND Ç÷¡½Ã ¸Þ¸ð¸®¿Í Çϵåµð½ºÅ©º¸´Ù´Â ÇöÀúÈ÷ ºü¸¥ Àб⠼º´É°ú ÇÔ²² DRAM º¸´Ù ÈξÀ Àú·ÅÇÑ °¡°ÝÀ» º¸ÀåÇÑ´Ù. ReRAMÀº ÄÄÇ»Æà ¼ÒÀÚ¿Í ¸Þ¸ð¸® ¼ÒÀÚ¸¦ ÇϳªÀÇ Ä¨¿¡ ÅëÇÕÇØ Al ÄÄÇ»Æðú °ü·ÃµÈ µ¥ÀÌÅÍ È帧ÀÇ º´¸ñÇö»óÀ» ±Øº¹ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¹Ì·¡ÀÇ Àθ޸ð¸®(in-memory) ÄÄÇ»Æà ¾ÆÅ°ÅØó ºÐ¾ß¿¡¼ °¡Àå À¯·ÂÇÑ Â÷¼¼´ë ÁÖÀÚ´Ù. |